氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過(guò)漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀的應用已從科學(xué)院、大專(zhuān)院校、實(shí)驗室及少數科研機構走向工礦企業(yè)，甚至鄉鎮企業(yè)、個(gè)體企業(yè)，可以說(shuō)應用領(lǐng)域較為寬廣。
氦質(zhì)譜檢漏儀以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。檢漏原理：當一個(gè)帶電質(zhì)點(diǎn)(正離子)以速度v進(jìn)入均勻磁場(chǎng)的分析器中，如果速度v的方向和磁場(chǎng)H的方向相垂直，則它的運動(dòng)軌跡為圓。當磁場(chǎng)的磁通密度一定時(shí)，不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場(chǎng)中都有相應的運輸半徑，也就是都有相應的圓軌跡，這樣，不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場(chǎng)分析器中運動(dòng)后就會(huì )彼此分開(kāi)。如果在離大運動(dòng)的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉，而在對應的氦離子運動(dòng)半徑位置的檔板上開(kāi)一狹縫，狹縫后安置離子接收極，這樣的只有氦離子才能通過(guò)狹縫而被接收極接收形成氦離子流，并經(jīng)放大器放大后由測量?jì)x表指示出來(lái)。檢漏時(shí)，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室中，使檢漏儀的測量?jì)x表立即靈敏地反應出來(lái)，達到了檢漏的目的。
